影響無塵潔凈室清潔度和挑選風速的主要要素

# 無塵潔凈室的風速/換氣次數一直是潔凈室規劃中關注的問題。跟著潔凈室污染源操控效果的提高和終濾器效率的提高，有關標準和導則中提出的推薦值或參考值是否保存已引起廣泛評論；FFU在實際使用中，解決了人們憂慮的噪聲、損壞和維護問題。跟著FFU技術的不斷完善，是否采用FFU回風體系也是一個熱點問題：懸浮分子污染（AMC）的操控已日益提上微電子和IC職業的議事日程。以下是對這些問題的總結和剖析。

       無塵潔凈室在必定清潔度下的空氣流速的測定因潔凈室的使用等具體條件而異。它不僅受室內粉塵產生和過濾效率的影響，還受其他要素的影響。關于工業潔凈室，影響清潔度和挑選風速的主要要素有：
       （1） 室內污染源：修建構件、人員數量和作業活動、工藝設備、工藝材料和工藝自身均為粉塵顆粒釋放源，根據具體情況改變較大；
       （2） 室內氣流流型及分布：單向流要求流線均勻、均勻，但會受到工藝設備安置、位置改變及人員活動的干擾，形成部分渦流；代替單向活動，它需求填充和混合，以避免死角和溫度分層。