隨著工業的不斷發展,潔凈室在工業生產中的應用越來越廣泛。而十萬級凈化車間和30萬級凈化車間是常見的兩種潔凈室類型。雖然這兩種潔凈室都屬于高潔凈度型潔凈室,但是它們在換氣時間、凈化的塵粒數量和允許的微生物數量等方面存在一定的差異。具體區別如下:
無塵車間可分為以下幾個級別:1,100,1000,10000,100000,30000,百萬。
每立方米粒徑小于0.5μm的粉塵量應控制在3500以下,達到國際無塵標準A級,目前,芯片級生產和加工中使用的無塵標準對粉塵的要求高于A級標準,而A級標準主要用于某些芯片的生產中?;覊m量嚴格控制在每立方米1000內,這在工業上也稱為1000級。
無塵室的等級要求和分類:
每立方米粒徑小于0.3μm的粉塵量應控制在3500以下,達到國際無塵標準A級。目前,芯片級生產和加工中使用的無塵標準對粉塵的要求高于A級標準,而A級標準主要用于某些芯片的生產中,0.5μm及以下的微塵量嚴格控制在每立方米1000以內,這在業界通常稱為1K級。每立方米無塵室真空吸塵器中包含的灰塵顆粒越少,意味著無塵室的水平越高
無塵室可以從高到低分為:100,1000,10000和100000等級